Subfab360 ATC

聚焦可持续半导体生产的Subfab

Subfab360 ATC 是一款创新的软件解决方案,旨在提高半导体生产的环境可持续性。它可以减少 subfab 区域的能源和介质消耗,从而显著减少温室气体排放。半导体制造商使用该软件,根据涂层和蚀刻系统的数据,按要求实时控制废气净化系统和泵。Subfab360 ATC 与 OEM 无关,提供简单的接口(如以太网),可顺利集成工艺系统和 Subfab 设备。这种主动工具耦合(ATC)已成功应用于半导体的批量生产,在最大限度地提高运行效率的同时,最大限度地减少对环境的影响。

功能性方式

Subfab360 ATC 功能强大,可调节和优化 废气净化系统和泵的性能。

微型芯片代表

利用现有的Subfab设备接口

Subfab360 ATC 利用 Subfab 设备的接口,根据当前工艺条件调整其性能和运行参数。这包括调整燃烧水洗设备的燃气需求以及介质消耗,例如氮气、苛性碱和淡水。

通过接口 A 使用工具数据

Subfab360 ATC 通过接口 A 访问相关工具数据,以获得精确信息。其中包括工艺气体流量、工具和工艺模块的状态以及晶片加工信息,包括未来工艺步骤的规划。

对Subfab设备进行控制

Subfab360 ATC 可将特殊的逻辑和算法应用于流程工具数据,以控制连接的 Subfab 设备,从而在不影响生产质量的情况下实现节能。

可视化

Subfab360 ATC 提供了用户友好界面(GUI),可提供预设或自由配置的视图。这样,操作员就可以轻松监控和分析 Subfab 设备和流程的节约和运行状态。

您有任何问题吗?

整合与兼容性

Subfab360 ATC 是一款基于开放源代码的软件包,可集成到任何现有的半导体工厂 IT 环境中。作为一种灵活的解决方案,它可与监控系统等现有软件应用程序实现无缝互补。

无需新硬件

Subfab360 ATC 的开发目的是利用现有硬件,而无需额外投资购买新设备。

使用常见的 DevOps IT 工具进行推广和配置

Subfab360 ATC 通过使用常见的 DevOps 工具,为推出和配置提供便利。这样就能在生产环境中高效实施和维护软件。

可改装现有设备

Subfab360 ATC 可以简单地连接现有设备和不同年代、不同类型的废气处理设备。

易用性

Subfab360 ATC 是在半导体工厂的环境中开发的,非常符合用户的需求。Subfab360 ATC 具有以下功能和特点,以用户为中心:

定制配置

该软件允许用户根据自己的要求和偏好定制配置。

全面的在线文档

Subfab360 ATC 用户可以访问完整的在线文档,以帮助他们设置和使用软件。

图形用户界面

Subfab360 ATC 界面可清晰显示所有相关信息。该界面可根据要求以不同语言和无障碍设计显示。

技术支持

Subfab360 ATC 为大型 IT 设施和数据中心提供高标准的技术支持。