Subfab360 ATC

聚焦可持续半导体生产的Subfab

Subfab360 ATC 是一款创新的软件解决方案,旨在提高半导体生产的环境可持续性。它可以减少 subfab 区域的能源和介质消耗,从而显著减少温室气体排放。半导体制造商使用该软件,根据涂层和蚀刻系统的数据,按要求实时控制废气净化系统和泵。Subfab360 ATC 与 OEM 无关,提供简单的接口(如以太网),可顺利集成工艺系统和 Subfab 设备。这种主动工具耦合(ATC)已成功应用于半导体的批量生产,在最大限度地提高运行效率的同时,最大限度地减少对环境的影响。

功能性方式

Subfab360 ATC 功能强大,可调节和优化 废气净化系统和泵的性能。

微型芯片代表

利用现有的Subfab设备接口

Subfab360 ATC 利用 Subfab 设备的接口,根据当前工艺条件调整其性能和运行参数。这包括调整燃烧水洗设备的燃气需求以及介质消耗,例如氮气、苛性碱和淡水。

通过接口 A 使用工具数据

Subfab360 ATC 通过接口 A 访问相关工具数据,以获得精确信息。其中包括工艺气体流量、工具和工艺模块的状态以及晶片加工信息,包括未来工艺步骤的规划。

对Subfab设备进行控制

Subfab360 ATC 可将特殊的逻辑和算法应用于流程工具数据,以控制连接的 Subfab 设备,从而在不影响生产质量的情况下实现节能。

可视化

Subfab360 ATC 提供了用户友好界面(GUI),可提供预设或自由配置的视图。这样,操作员就可以轻松监控和分析 Subfab 设备和流程的节约和运行状态。

您想将智能系统控制集成到您的流程中吗?

那就与我们预约吧:

整合与兼容性

Subfab360 ATC 是一款基于开放源代码的软件包,可集成到任何现有的半导体工厂 IT 环境中。作为一种灵活的解决方案,它可与监控系统等现有软件应用程序实现无缝互补。

无需新硬件

Subfab360 ATC 的开发目的是利用现有硬件,而无需额外投资购买新设备。

使用常见的 DevOps IT 工具进行推广和配置

Subfab360 ATC 通过使用常见的 DevOps 工具,为推出和配置提供便利。这样就能在生产环境中高效实施和维护软件。

可改装现有设备

Subfab360 ATC 可以简单地连接现有设备和不同年代、不同类型的废气净化系统。

易用性

Subfab360 ATC 是在半导体工厂的环境中开发的,非常符合用户的需求。Subfab360 ATC 具有以下功能和特点,以用户为中心:

定制配置

该软件允许用户根据自己的要求和偏好定制配置。

全面的在线文档

Subfab360 ATC 用户可以访问完整的在线文档,以帮助他们设置和使用软件。

图形用户界面

Subfab360 ATC 界面可清晰显示所有相关信息。该界面可根据要求以不同语言和无障碍设计显示。

技术支持

Subfab360 ATC 为大型 IT 设施和数据中心提供高标准的技术支持。