Subfab360 ATC

Die Subfab im Fokus nachhaltiger Halbleiterproduktion

Subfab360 ATC ist eine innovative Softwarelösung, die entwickelt wurde, um die Umweltverträglichkeit in der Halbleiterproduktion zu steigern. Sie ermöglicht es, Energie- und Medienverbräuche im Bereich der Subfab zu senken, was zu einer deutlichen Reduzierung von Treibhausgasemissionen führt. Mit der Software steuern Halbleiterhersteller basierend auf den Daten von Beschichtungs- und Ätzanlagen ihre Abgasreinigungsanlagen und Pumpen bedarfsgerecht und in Echtzeit. Subfab360 ATC ist OEM-unabhängig und bietet einfache Schnittstellen (z. B. Ethernet) zur reibungslosen Integration von Prozessanlagen und Subfab-Geräten. Dieses Active Tool Coupling (ATC) wird bereits in der Volumenproduktion von Halbleitern erfolgreich eingesetzt, um die Umweltauswirkungen zu minimieren und gleichzeitig betriebliche Effizienz zu maximieren.

Funktionsweise 

Subfab360 ATC bietet eine leistungsstarke Funktionalität zur Anpassung und Optimierung der Leistung von Abgasreinigungsanlagen und Pumpen.  

Microchip Darstellung

Nutzung von vorhandenen Subfab-Equipment-Schnittstellen

Subfab360 ATC nutzt Schnittstellen von Subfab-Geräten, um deren Leistung und Betriebsparameter entsprechend den aktuellen Prozessbedingungen anzupassen. Dies umfasst die Anpassung der Brenngasanforderungen von Brenner-Wäscher-Systemen und des Medienverbrauchs, wie beispielsweise Stickstoff, Lauge und Frischwasser.

Nutzung von Tooldaten via Interface A-Schnittstelle

Subfab360 ATC greift auf relevante Tooldaten über die Interface A-Schnittstelle zu, um präzise Informationen zu erhalten. Dies beinhaltet Prozessgasflüsse, den Status von Tools und Prozessmodulen sowie Informationen zur Waferprozessierung, einschließlich der Planung für zukünftige Prozessschritte.

Steuerung von Subfab-Geräten

Subfab360 ATC ermöglicht die Anwendung spezieller Logik und Algorithmen auf die Prozesstooldaten, um angeschlossene Subfab-Geräte so zu steuern, dass Energieeinsparungen erzielt werden, ohne die Produktionsqualität zu beeinträchtigen.

Visualisierung

Subfab360 ATC bietet eine benutzerfreundliche Oberfläche (GUI), die voreingestellte oder frei konfigurierbare Ansichten zur Verfügung stellt. Hierdurch können Betreiber die Einsparungen und den Betriebszustand der Subfab-Geräte und Prozesse leicht überwachen und analysieren.

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Integration und Kompatibilität

Subfab360 ATC ist ein Open-Source-basiertes Software-Paket, das in jede bestehende Halbleiterfabrik-IT-Umgebung integriert werden kann. Als flexible Lösung ergänzt es nahtlos vorhandene Softwareanwendungen, wie beispielsweise Monitoringsysteme.

Keine neue Hardware erforderlich

Subfab360 ATC wurde entwickelt, um die vorhandene Hardware zu nutzen, ohne zusätzliche Investitionen in neue Geräte zu erfordern.

Rollout und Konfiguration mit gängigen DevOps IT-Tools

Subfab360 ATC erleichtert den Rollout und die Konfiguration durch die Verwendung gängiger DevOps-Tools. Dies ermöglicht eine effiziente Implementierung und Wartung der Software in Ihrer Produktionsumgebung.

Retrofit bestehender Geräte möglich

Subfab360 ATC  ermöglicht das einfache Anbinden  vorhandener Geräte und Abgasreinigungsanlagen unterschiedlicher Generationen und Typen.

Nutzungsfreundlichkeit

Subfab360 ATC wurde im Umfeld von Halbleiterfabriken entwickelt und ist eng auf die Bedürfnisse der Nutzer*innen zugeschnitten. Mit den folgenden Funktionen und Merkmalen nimmt Subfab360 ATC die Nutzer*innen in den Fokus: 

  

Individuelle Konfiguration

Die Software ermöglicht es den Anwender*innen, Konfigurationen nach ihren eigenen Anforderungen und Präferenzen anzupassen.

Umfassende Online-Dokumentation

Die Anwender*innen von Subfab360 ATC haben Zugriff auf eine vollständige Online-Dokumentation, die bei der Einrichtung und Nutzung der Software unterstützt.

Grafische Oberfläche

Die Subfab360 ATC-Oberfläche bietet eine übersichtliche Darstellung aller relevanten Informationen. Diese Oberfläche kann auf Wunsch in verschiedenen Sprachen und in barrierearmen Design angezeigt werden.

Technischer Support

Subfab360 ATC bietet technischen Support nach den hohen Standards großer IT-Installationen und Rechenzentren.