Subfab360 ATC
專注於永續半導體生產的廠家
Subfab360 ATC 是一種創新的軟體解決方案，旨在提高半導體生產的環保永續性。它可以減少廠房區域的能源和媒介消耗，從而顯著減少溫室氣體排放。借助該軟體，半導體製造商可以根據即時的塗層和蝕刻系統的數據控制其廢氣處理系統和泵浦。Subfab360 ATC 獨立於減排設備製造商，提供簡單的介面（例如乙太網），以實現製程設備和附屬設備的整合。這種Active Tool Coupling （ATC）已應用於半導體的量產廠，以大幅度減少對環境的影響並提高運營效率。
運作方式
Subfab360 ATC 提供強大的功能來定製和優化 廢氣處理系統和泵浦的性能。
使用現有的Subfab設備介面
Subfab360 ATC 使用來自 Subfab 設備的介面，根據當下的製程條件調整其性能和操作參數。這包括調整燃燒水洗設備的燃氣用量和媒介消耗，如氮氣、鹼液和淡水。
透過 Interface A 利用製程數據
Subfab360 ATC 通過 Interface A 訪問相關設備數據，以獲得精確的資訊。這包括製程設備氣體流量和製程模組的狀態以及晶圓加工資訊，包括未來製程步驟的規劃。
Subfab設備控制
Subfab360 ATC 能夠將專門的邏輯和演算法應用於製程設備數據，以控制連接的 Subfab 設備，從而在不影響生產品質的情況下實現節能。
可視化
Subfab360 ATC 提供使用者友善的介面 (GUI)，可提供預設或可自由設定的視圖。這使得操作員能夠輕鬆監控和分析晶圓廠設備和流程的節省和運作狀態。
你有什麼問題嗎？
整合和相容性
Subfab360 ATC 是一個開源軟體，可以應用到現有的半導體工廠 IT 環境中。作為一種靈活的解決方案，它可以無縫補充現有的軟體應用程式，如監控系統。
無需新硬體
Subfab360 ATC旨在利用現有硬體，而無需對新設備進行額外投資。
使用常見的DevOps IT工具進行部署和配置
Subfab360 ATC 透過使用常見的 DevOps 工具簡化了部署和設定。這使得您可以在生產環境中有效地實施和維護軟體。
可對現有設備進行改造
Subfab360 ATC 可以輕鬆連動現有設備和不同年代和類型的廢氣處理設備。
易用性
Subfab360 ATC是在半導體工廠的環境中開發的，並緊密地根據使用者的需求量身定製。Subfab360 ATC專注於具有以下功能和特性的使用者：
個人化配置
該軟體允許用戶根據自己的要求和偏好自定義配置。
全面的在線文檔
Subfab360 ATC 的使用者可以存取完整的在線文檔，以幫助他們設置和使用該軟體。
圖形介面
Subfab360 ATC 介面可清楚顯示所有相關資訊。如果需要，該介面可以以不同語言和無障礙設計顯示。
技術支援
Subfab360 ATC 為大型 IT 安裝和數據中心的高標準提供技術支援。