Subfab360 ATC

專注於可持續半導體生產的廠家

Subfab360 ATC 是一種創新的軟體解決方案,旨在提高半導體生產中的環境可持續性。它可以減少廠房區域的能源和介質消耗,從而顯著減少溫室氣體排放。借助該軟體,半導體製造商可以根據需要即時根據塗層和蝕刻系統的數據控制其廢氣凈化系統和泵。Subfab360 ATC 與 OEM 無關,並提供簡單的介面(例如乙太網),以實現工藝設備和廠房設備的順利集成。這種主動工具聯軸器(ATC)已成功用於半導體的批量生產,以最大限度地減少對環境的影響,同時最大限度地提高運營效率。

運作方式 

Subfab360 ATC 提供強大的功能來定製和優化 廢氣凈化系統和泵的性能。  

微晶片成像

使用現有的Subfab設備介面

Subfab360 ATC 使用來自 Subfab 設備的介面,根據當前的工藝條件調整其性能和操作參數。這包括調整燃燒水洗設備的燃氣要求和介質消耗,如氮氣、鹼液和淡水。

透過介面 A 利用工具數據

Subfab360 ATC 通過介面 A 訪問相關工具數據,以獲得精確的資訊。這包括工藝氣體流量、工具和工藝模組的狀態以及晶圓加工資訊,包括未來工藝步驟的規劃。

Subfab設備控制

Subfab360 ATC 能夠將特殊邏輯和演算法應用於工藝工具數據,以在不影響生產質量的情況下實現節能的方式控制連接的 Subfab 設備。

可視化

Subfab360 ATC 提供使用者友好的介面 (GUI),提供預設或可自由配置的視圖。這使操作員能夠輕鬆監控和分析Subfab設備和工藝的節約和運營運行狀況。

你有什麼問題嗎?

集成和相容性

Subfab360 ATC 是一個基於開源的軟體包,可以集成到任何現有的半導體工廠 IT 環境中。作為一種靈活的解決方案,它可以無縫補充現有的軟體應用程式,如監控系統。

無需新硬體

Subfab360 ATC旨在利用現有硬體,而無需對新設備進行額外投資。

使用常見的DevOps IT工具進行部署和配置

Subfab360 ATC 通過使用流行的 DevOps 工具簡化了部署和配置。這允許在生產環境中高效實施和維護軟體。

可對現有設備進行改造

Subfab360 ATC 可以輕鬆連接現有設備和不同年代和類型的廢氣處理設備。

易用性

Subfab360 ATC是在半導體工廠的環境中開發的,並緊密地根據使用者的需求量身定製。Subfab360 ATC專注於具有以下功能和特性的使用者: 

  

個人化配置

該軟體允許用戶根據自己的要求和偏好自定義配置。

全面的在線文檔

Subfab360 ATC 的使用者可以存取完整的在線文檔,以幫助他們設置和使用該軟體。

圖形用戶介面

Subfab360 ATC 介面可清晰顯示所有相關信息。如果需要,該介面可以以不同的語言和低門檻設計顯示。

技術支援

Subfab360 ATC 為大型 IT 安裝和數據中心的高標準提供技術支援。