Als erster Demonstrator seiner Art in der Branche ermöglicht er eine intuitive Erkundung, wie die algorismic Software den Ressourcenverbrauch in der Subfab optimiert. Dadurch wird erlebbar, wie intelligente Software Effizienz steigert, Kosten senkt und den CO₂-Footprint reduziert.
Klimaziele verfolgen und wirtschaftlicher dabei werden – Entscheidung mit Impact
Die Halbleiterindustrie steht vor der großen Herausforderung: ihre ambitionierten Klimaziele zu erreichen und gleichzeitig Kosten senken. Fab-Betreiber müssen schnell auf diese Rahmenbedingungen reagieren, neue Lösungswege testen und dabei Risiken, Kosten und Zeitaufwand für die Implementierung gering halten.
Die Softwarelösung
Subfab360 ATC ist eine innovative Softwarelösung, die entwickelt wurde, um die ökologische Nachhaltigkeit in der Halbleiterproduktion zu steigern. Sie ermöglicht Einsparungen bei Energie und Ressourcen in der Subfab, was zu einer erheblichen Reduzierung der CO₂-Emissionen führt. Halbleiterhersteller nutzen die Software, um auf Basis von Echtzeitdaten der Process Tools in der Fab, den bedarfsoptimierten Betrieb ihrer Abatements und Pumpen zu ermöglichen. Subfab360 ATC ist herstellerunabhängig und bietet einfache Schnittstellen für eine nahtlose Integration von Prozessanlagen und Subfab-Devices.
Die technologischen Anforderungen in Fabs sind hoch – Sicherheit und Zuverlässigkeit haben höchste Priorität. Algorismic hat mit Subfab360 ATC bereits mehrere erfolgreiche Implementierungen in Taiwan und Deutschland durchgeführt und dank Case Studies, reale Daten zu Ressourceneinsparungen erhoben. Diese Ergebnisse können nun erstmals interaktiv im Subfab360 ATC Playroom erlebt werden. Genau dies ermöglicht für Entscheidungsträger eine realistische Beurteilung, wie effizient und effektiv eine Umsetzung im eigenen Betrieb ist.
Der Demonstrator: Subfab360 ATC Playroom
„Die Implementierung von Subfab360 ATC ist kein Experiment mehr – sie basiert auf realen Praxiserfahrungen, hat ihre Wirkungsweise bereits mehrfach bewiesen und eröffnet nachweislich erhebliche Einsparpotenziale. Damit wird sie zu einer logischen und sinnvollen Lösung für jede Fab, die Effizienz und Nachhaltigkeit verbinden möchte.“
Tony Kühn, Director Project Management, algorismic gmbh
In der Webapplikation werden komplexe Zusammenhänge interaktiv und anschaulich erfahrbar gemacht:
- Die Visualisierung zeigt eine Fab – oben im Reinraum das Production Tool (z. B. für Ätzprozesse), darunter in der Subfab das Abatement-Equipment mit Scrubber und Pumpen.
- Ohne Informationen über die Gasströme aus dem Production Tool und den Pumpen läuft das Abatement-Equipment auf voller Last – der Ressourcenverbrauch bleibt stets am Maximum.
- Mit aktivierter Software erhält das Abatement Echtzeitinformationen zu Gasmengen und -arten aus dem Production Tool. So kann es den Energiebedarf für die Verbrennung exakt anpassen.
- Im Savings Reporting lassen sich die erzielten Einsparungen transparent auswerten und anschließend in monetäre Werte übertragen.
Effizienzpotenziale sichtbar machen
Wenn die erheblichen Einsparpotenziale in der Subfab für Entscheidungsträger nachvollziehbar aufgezeigt werden, entsteht eine deutlich fundiertere Basis für die nachhaltige Entscheidung, Active Tool Coupling (ATC) einzusetzen. Erst durch das erlebbare Zusammenspiel von Software-Funktionsweise und den realisierbaren Ressourcen- und Kosteneinsparungen wird klar, wie sinnvoll die Implementierung von „Subfab360 ATC“ ist.
Launch auf der SEMICON Taiwan 2025
Am Stand der algorismic gmbh auf der SEMICON Taiwan 2025, German Pavilion in Halle 1, können Interessierte die Softwarelösung im Subfab360 ATC Playroom interaktiv erleben und die zugrunde liegenden Case-Study-Daten einsehen.
Ansprechpartnerin:
Stefanie Hammer, General Manager
algorismic gmbh
Cottaer Str. 4, 01159 Dresden, Saxony, Germany
phone: +49 351 82 44 30
mail: info@algorismic.com
Sie möchten mehr darüber erfahren, wie Subfab360 ATC Effizienzpotenziale sichtbar macht, gleichzeitig Kosten und CO₂-Fußabdruck senkt?
Unsere Expert:innen zeigen Ihnen, welche Einsparungen in Ihrer Fab realistisch möglich sind und wie sich die Implementierung umsetzen lässt.